有研亿金：德州“芯”力量，深度融入全球高端制造产业链

走进山东有研亿金新材料有限公司（以下简称“有研亿金”）生产车间，只见一批批闪烁着金属光泽的“圆盘”正在精密设备中加工。它们是高纯溅射靶材，芯片制造中不可或缺的关键耗材。“这些靶材虽然在整个芯片制造成本中占比不大，通常在3%到5%，但其纯度与质量直接决定了最终芯片的性能与良品率。”有研亿金德州生产基地副总经理万小勇手持一片靶材介绍。这里生产的高纯靶材，纯度可达99.99999%以上，是国内唯一能满足7纳米及以下先进工艺制程需求的国产化项目，其产品已成功进入台积电、中芯国际等全球顶尖芯片制造企业的供应链体系。

据悉，位于德州天衢新区的有研亿金主要从事集成电路用高纯溅射靶材等电子专用材料研发、制造、销售，公司成功搭建了国内领先的产业化平台，实现了从超高纯原材料到溅射靶材的垂直一体化研发与生产，项目于2023年9月投产，现已实现4.3万块/年的设计产能。

有研亿金的核心产品阵容强大，涵盖了超高纯铜及铜合金靶材、铜磷阳极、超高纯钽靶材、超高纯钴靶材及钴阳极、超高纯镍钒靶材、超高纯钨及钨合金等靶材，这些产品批量应用于集成电路逻辑芯片、存储芯片、高端滤波器、大功率器件及先进封装等多个关键领域，凭借卓越性能，深度融入全球高端制造产业链，成为推动行业发展的重要力量。

技术突破是有研亿金的核心竞争力。作为国内首家、全球极少数全面掌握集成电路用超高纯铜及铜合金溅射靶材制造技术的企业之一，公司产品已批量应用于我国最先进的12英寸晶圆厂铜互连工艺，并在全球主要的先进晶圆厂都有广泛供应；同时，公司是国内首家、全球第二家实现超高纯钴靶材垂直一体化制造的企业，该产品用于集成电路接触层制备及先进钴互连工艺；另外，公司实现了12英寸超高纯钽靶、钨靶的关键技术快速突破，满足高端逻辑、存储芯片应用需求，成为国内领先的供应商。

值得一提的是，公司高端靶材产品能够满足7纳米及以下先进制程的要求，为国内外芯片制造企业提供优质定制化服务及配套保障，极大提升了我国集成电路关键配套材料自主可控能力，并在全球集成电路产业链具有越来越高的影响力和竞争力。

大众新闻·齐鲁壹点 李梦晴 孙文丽 通讯员 韩哲 宋钊铭