拟融资5000万，济南这家离子注入机制造民企加速扩产！

总部从广州迁入济南后，济南市艾恩半导体科技有限公司（下称“艾恩半导体”）的每一步动作，都备受行业关注。

在近日举行的“投资齐鲁 共赢未来”高质量发展资本对接活动上，艾恩半导体全资子公司艾恩（山东）半导体科技有限公司（下称“艾恩山东”）融资负责人田凤娇现场进行了项目推介，并与多名投资嘉宾进行了细致沟通。

田凤娇介绍，本轮融资主要用于高端离子注入机的研发投入、产能扩建以及团队建设，计划融资5000万元。“资金将重点投向高能离子注入机的技术攻关和批量产线建设，进一步巩固在碳化硅等宽禁带半导体领域的先发优势。同时拓展国内外市场渠道，加速产品迭代与产业化落地。”她表示。

艾恩山东注册地位于济南，成立于2023年11月，占地面积3000平方米，主要从事离子注入机研发、生产及销售，2025年4月份开工，目前已投产3台设备，投资方是艾恩半导体。

艾恩半导体成立于2023年2月，注册资本170.95万元，法定代表人李更兰，2024年10月总部从广州迁入济南，是一家专注于芯片制造核心设备——离子注入机研发、制造的民营科创企业。

股权穿透显示，艾恩半导体有钟新华、广州恩远新技术合伙企业（有限合伙）、济南鲁信新动能天使创业投资合伙企业（有限合伙）、广州基联新技术发展合伙企业（有限合伙）、山东高投毅达新动能创业投资合伙企业（有限合伙）、山东省高新技术创业投资有限公司等11名股东。其中，钟新华持股30.11%，为艾恩半导体第一大股东。

钟新华介绍，艾恩半导体技术团队由国内离子注入机行业领军者和资深专业人士构成，以实现半导体制造离子注入环节国产替代为目标，以碳化硅离子注入机为切入点，致力于成为国内离子注入机设备龙头供应商。公司核心团队拥有从特色工艺技术到硬件设计的全自研与全覆盖的正向研发技术体系，通过光路优化、自研AI离子源，使离子注入机的生产效率提高了1.5倍以上。2024年公司首台纯自研设备出货。艾恩半导体未来将持续开发高制程大尺寸离子注入机，不断拓展泛半导体应用场景，面向全球成为平台型半导体设备公司。

“我们以碳化硅工艺为切入点，已完成了适应于碳化硅工艺的Ai 350HT型离子注入机的开发，首台设备已经在客户端测试。”钟新华介绍，2025年公司整体出货2台针对碳化硅量产线的AI 350HT、1台针对8寸及以下硅基线的AI 250。大束流产品2025年完成研发，2026年形成商业化订单，特种高能机预计2026年完成研发，2027年形成商业化订单。

（大众新闻·经济导报记者 初磊）