效率提高1.5倍 艾恩半导体自研设备助力济南抢占半导体装备高地

大众网记者 张玮 秦瑾 济南报道

3月13日，济南市政府新闻办召开“项目赋能强省会”企业家系列记者见面会——数智赋能新质生产力专场。记者从会上了解到，艾恩半导体拥有从特色工艺技术到硬件设计的全自研与全覆盖的正向研发技术体系，通过光路优化、自研AI离子源，使离子注入机的生产效率提高了1.5倍以上。

济南市艾恩半导体科技有限公司董事长钟新华介绍，公司成立于2023年，注册资本3500万元，占地面积3000㎡，主要从事离子注入机的研发、生产及销售。2024年山东产研院联合高新区将艾恩半导体招引至产研院园区，成为产研院重点扶持的半导体设备项目。项目建成后，计划年实现产值10000万，税收500万。

艾恩半导体技术团队由国内离子注入机行业领军者和资深专业人士构成，以实现半导体制造离子注入环节国产替代为目标，以碳化硅用离子注入机为切入点，致力于成为国内离子注入机设备龙头供应商。公司核心团队拥有从特色工艺技术到硬件设计的全自研与全覆盖的正向研发技术体系，通过光路优化、自研AI离子源，使离子注入机的生产效率提高了1.5倍以上。

目前，“数智”主要在公司两个层面得到了应用。首先是公司管理层面，艾恩半导体已经建立了OA系统、PDM系统和财务管理系统，基本实现了无纸化办公和生产管理的数字化。另一个层面是在艾恩半导体产品上的应用。离子注入机是一个极为复杂的系统，涉及近2万个零部件。为了提高设备的自动化与智能化水平，首先要能够获取设备的实时状态数据。目前艾恩半导体设备在数据获取方面，比同行业产品高出几十倍，单台设备每小时获取的数据量大约在1G左右，无论是数据采集的点位数量还是采样频次，都处于行业领先水平。

获取大量数据后，关键是要能够很好地利用这些数据。艾恩半导体将其用于设备的实时检测与控制、故障诊断与处理、自动调束功能，以及后续的优化与迭代，这极大地提升了设备的自动化与智能化水平。据了解，所有半导体装备本质上做的都是系统集成，各家采用的单个硬件差别并不大。最大的区别在于系统集成过程中的标准化程度和软件系统，也就是如何将数字化与智能化更好地融合到产品中去。

“关于赋能方面，公司落地济南后，得到了市级、区级等各级领导的高度重视。从资金、场地、人才到客户对接，对艾恩半导体进行了全方位的帮扶与支持。”钟新华说。