瞄准“卡脖子”技术，艾恩半导体要让高端离子注入机“山东造”

集成电路是现代工业的“粮食”，而离子注入机则是芯片制造中不可或缺的核心装备之一，地位堪比光刻机。长期以来，这个领域被国际巨头垄断，国产化率不足10%。如今，在济南，一家名为艾恩半导体的企业，正试图打破这一格局。

“我们没有一上来就去和国际巨头在硅基主流市场硬碰硬，而是选择以碳化硅离子注入机作为突破口。”在3月13日的济南市企业家记者见面会上，济南市艾恩半导体科技有限公司董事长钟新华，这位在离子注入机领域钻研了二十多年的“老兵”，道出了企业的生存智慧。

当前，以碳化硅为代表的第三代半导体产业正迎来黄金发展期，为国产设备提供了绝佳的“换道超车”机遇。艾恩半导体的打法是“三步走”：第一步，三年内实现离子注入机所有机型全覆盖，从碳化硅向硅基延伸；第二步，性能对标国际领先，正在研发的第二代碳化硅离子注入机将实现性能突破，而设备价格能做到进口同类装备的50%左右；第三步，用“贴身服务+快速响应”构建护城河，与客户深度绑定，做定制化开发。

“对我们这样的初创公司来说，机遇只有一次，如果抓不住，就将面临生死。”钟新华的紧迫感溢于言表。而“速度”的背后，是强大的技术支撑。艾恩半导体的核心团队拥有从特色工艺技术到硬件设计的全自研正向研发技术体系，通过光路优化、自研AI离子源，使离子注入机的生产效率提高了1.5倍以上。

2023年，钟新华和团队将公司总部从广州迁至济南，正是看中了这里正在崛起的集成电路产业生态。在济南打造产业高地的进程中，艾恩半导体希望扮演好产业链的“补链者”、上下游的“连接器”和产业集群的“磁石”。“我们已经在数据获取、自动调束等方面处于行业领先水平，单台设备每小时获取的数据量就大约在1G。”钟新华介绍，这些海量数据正被用于设备的实时检测、故障诊断和优化迭代，极大地提升了设备的自动化与智能化水平。

“对于未来，我们有一个愿景：让世界看到，高端离子注入机不仅能够‘中国造’，更能够‘山东造’。”钟新华的话语坚定而有力。他们将扎根济南，与上下游伙伴一道，把山东的第三代半导体产业链做强做大，为我国半导体设备的自主可控贡献一份力量。

（大众新闻记者 姜斌）