离子注入机“山东造”，鲁信创投高质招引助推山东第三代半导体产业补链强链

一台台精密部件有序组装，一个个核心参数反复校准，在济南高新区济南艾恩半导体科技有限公司（下称“艾恩半导体”）生产车间内，多台中束流离子注入机正同步推进装配工作。作为一家专注于芯片制造核心设备——离子注入机研发、制造的民营科创企业，艾恩半导体在其天使投资人——鲁信集团直管企业鲁信创投的“牵线搭桥”下，将公司总部迁入山东、落地济南高新区。

在芯片制造过程中，离子注入是仅次于光刻工艺的重要环节，其注入效果决定了芯片内部结构器件最基本、最核心的电学性能，是产业链上的重要卡点、堵点。可以说，没有离子注入机，就没有当下的第三代半导体产业。而如今离子注入机的国产化率尚不足8%，国产替代迫在眉睫。

离子注入机研发制造门槛极高，覆盖高压电子、机械、计算机控制、等离子体物理等多个高端学科，需要将接近2万个零部件集成起来，并通过一系列精密控制，确保各项指标参数的高稳定性、精确性。当前，4家国外龙头企业已占据全球超过90%的市场份额，国内企业无论是在市场占比上，还是在技术指标上，与国际领先水平尚存较大差距。

“不能在上游设备环节被卡住‘脖子’。”秉持着用最短时间突破关键技术瓶颈的愿景，2023年2月，钟新华带领具备近20年研发、产业化经验的技术团队，注册成立广州市艾恩半导体科技有限公司，积极投身离子注入机的国产化浪潮中。彼时，资金是横亘在公司加快自主研发道路上的最大挑战。作为一家刚刚起步的科技型创业公司，高风险、高不确定性等特征以及缺乏抵押物及营业收入的现状，导致其难以获得贷款支持。

围绕具有重要战略意义、亟需突破的“卡脖子”技术，鲁信创投凭借对初创期科创型项目的专业辨别能力与赛道把握能力，在严格审计及评估的基础上，率先成为艾恩半导体的天使投资人。2023年3月和9月，由鲁信创投联合济南财投基金集团等组建的济南鲁信新动能天使创业投资合伙企业（有限合伙），两度出资参与艾恩半导体天使轮融资，以“真金白银”为企业送去关键“活水”。

作为山东起步最早、国内具有重要影响力的专业创投机构，鲁信创投近年来先后涉足芯片设计、衬底生产、晶圆制造、模块封装等第三代半导体全产业链，而离子注入机更是当前产业发展必不可少、亟待补齐的关键短板之一。投早、投小、投长期、投硬科技，一直都是鲁信创投的坚守与初心，也是作为国有创投机构支撑我国电子元器件制造工艺装备自立自强、助推国产离子注入机供应链自主可控的使命与担当。

在“真金白银”的有力加持和全方位孵化赋能下，艾恩半导体技术成果加速迭代，设备性能持续攀升。目前，公司长寿命离子源研发成果已达到国内先进水平，离子注入机多款机型的性能指标与国际领先差距正不断缩小。

在公司研发、扩产资金紧张的关键时期，鲁信创投旗下基金追投资金可谓“及时雨”，并积极“牵线搭桥”，协助公司在新一轮融资中对接更多大型投资机构、政府投融资平台，成功与毅达资本、源禾资本、济南财金投资集团、济南市高新区、山东产业技术研究院达成股权合作，也为公司将总部迁至山东按下了“启动键”。

作为制造业强省，山东在第三代半导体产业发展上具有良好基础。离子注入机所需的近2万个零部件，过半可以在山东本地配套，同时也存在广泛的下游潜在客户资源。艾恩半导体落地山东，既助力企业抢抓机遇，也将有效补强山东第三代半导体产业链，推动产业链上下游协同发展。

作为鲁信集团旗下从事创业投资业务的核心板块，鲁信创投90%以上的资金投资在“硬科技”领域，持续聚焦国家战略性新兴产业与未来产业，重点关注颠覆性创新、“卡脖子”技术攻关、国产化替代项目，坚持投早投小投长期投硬科技，做强做优耐心资本，搭建科创型企业孵化培育、成长扶持、发展壮大的全周期赋能体系，为加快推进新型工业化、发展新质生产力、构建新发展格局、建设现代化经济体系贡献力量。