从一场大会，看靶材里的“关键一跃”

大众网记者 张小璐 张凤帅 德州报道

6月29日，集成电路用高纯溅射靶材产业创新与发展大会在德州召开。何季麟、屠海令、刘炯天、黄小卫、赵中伟五位中国工程院院士到场，来自有色金属工业协会、集成电路材料产业技术创新联盟的专家学者和产业链上下游企业代表齐聚，议题聚焦一个方向：先进集成电路靶材核心技术和产业化突破。

高纯溅射靶材，是芯片制造中薄膜沉积制程的刚需材料。从智能手机到数据中心，从智能汽车到算力底座，缺了它，芯片就造不出来。近年来，高端半导体材料需求快速攀升，国产替代窗口加速打开。与会者形成的共识是：挑战仍在，但机遇更大。

这场大会落地德州，并非偶然。

深耕靶材技术20余年的有研亿金新材料有限公司，是大会的重要注脚。其德州生产基地自2023年9月投产以来，已形成年产4.3万块高纯溅射靶材的产能。一块块经过熔炼、压加、焊接、机加工等精密工序的靶材从这里下线，走向国内数十家芯片厂的生产线。

这些看似普通的金属块，被称为芯片的“神经脉络”。有研亿金德州生产基地总经理万小勇打了个比方：靶材在芯片总成本中只占3%到5%，却属于“关键少数”。从早期4到6英寸的小尺寸产品，一路做到如今12英寸大尺寸靶材的全面突破，企业已实现铜系靶、钴靶、钽靶、铝靶、钛靶等百余款产品全覆盖。纯度做到了七个9的水平，金属杂质含量控制在百万分之0.1以内——打个比方，相当于每吨材料里，杂质不超过0.1克。

“纳米级布线中，任何微小缺陷都可能导致芯片失效。”万小勇解释，产线引入自动化装备和定制化设备，对靶材制造全流程精密管控，良品率稳定在99%以上，产品能够满足全球最尖端的芯片制造需求。

从实验室到产线，这条路并不好走。

华润微电子董事长何小龙在大会致辞中，以“用户”身份说了实在话：以有研亿金为代表的企业，在超高纯铝、钛、钽、铜等靶材上已实现规模化量产，进入了多家全球顶尖芯片制造企业的供应链。但他也坦陈，7N超高纯铜、5N5高纯锰等高端原料的深度提纯，大尺寸靶材的致密成型与微观缺陷调控，依然是工程化放大的瓶颈。“从实验室样品到产线上稳定、可重复的量产供应，中间还隔着大量工艺验证、异常分析和持续迭代的‘硬骨头’。”

他给出了一条务实建议：产业链上下游不能做“等米下锅”的被动用户，要把产线的痛点变成研发的靶点，把实验室的创新成果加速导入工程验证，让国产高纯溅射靶材从“可用”真正迈向“好用、耐用、放心用”。

院士专家的智力输出，与天衢新区的产业布局形成了呼应。

2013年，全球射频芯片封测企业威讯联合半导体从亚洲十几个城市中选择了德州，德州半导体集成电路产业化由此起步。2018年，中国有研科技集团投资的集成电路用大尺寸硅片产业化项目签约落地。此后6年间，有研集团7个项目相继在德州落户，德州天衢新区承载了其中主要6个。

一组数据勾勒出产业轮廓：有研半导体8英寸硅片项目年产6英寸硅片300万片、8英寸硅片300万片；有研艾斯12英寸硅片项目年产180万片，全部达产后可达360万片；刻蚀设备用硅材料年产3.6万片。目前，全区已汇聚121家新一代信息技术企业，形成了从衬底外延、芯片制造、封装测试、器件模组到终端应用的相对完备的产业链条。

大会现场，德州市委常委、常务副市长赵纪钢向与会者发出邀请：“真诚期待更多企业家朋友把德州作为布局产业的战略要地，把更多研发中心、制造基地落在德州，携手把产业链做强、把创新链做优、把人才链做深、把价值链做长。”

产业蝶变，生态是底子。

2025年，德州首次入选世界集成电路协会发布的全球集成电路产业综合竞争力百强城市名单。2026年，德州天衢新区先进半导体材料加速园入选山东省未来产业加速园建设项目名单。德州与天衢新区整合资源，组建产业链办公室，绘制产业发展全景图、产业链图谱、技术路线图等“五张图”，先后出台《新一代信息技术产业发展规划》《加快集成电路产业发展实施意见》等配套文件。

“我们始终把新一代信息技术产业作为‘一号产业链’来重点培育，设立产业发展服务中心，全力推进重点项目建设。”德州天衢新区党工委副书记、管委会主任王大山说。眼下，新区正围绕提升龙头企业产能、集聚细分领域头部企业、强化供应链配套协作持续发力。

有研亿金总经理滕海涛表示，企业将继续扎根德州，以技术创新为驱动，深度整合上下游资源，强化各环节协同联动，通过构建完整产业生态提升供应链稳定性，为保障产业链安全与高质量发展注入持久动力。