“芯片刻刀”不再受制于人！我国首产6N级高纯氟化氢，鲁企突破半导体关键材料

记者7月19日从滨化集团获悉，通过工艺、工程、检测、充装四方面技术突破，其生产的半导体用高纯氟化氢产品品质达到6N等级（99.9999%），处于国内领先、国际一流水平。这标志着我国在半导体关键材料领域打破国外长期垄断，填补了国内高纯氟化氢产能空白。

高纯氟化氢气体如同一把精密“刻刀”，是半导体晶圆制造中干法蚀刻、腔体清洁等关键工艺的核心电子特气，其纯度直接决定晶圆良率。6N级高纯氟化氢是适配28纳米及以下先进制程的必需品。此前，我国6N级高纯氟化氢长期依赖进口，国外企业垄断全球约80%的市场份额。

半导体级氟化氢要求纯度达到99.999%（5N）以上。“从5N到6N，不仅仅是多提纯一次，而是一整套全新纯化体系的建立。”滨化集团特种化学品事业部总经理刘腾介绍，实现6N纯度，关键是攻克氟化氢中痕量水、二氧化碳、含氧有机物等互溶杂质。在精馏段设计多重精馏耦合系统，通过优化塔内件和操作窗口，在特定压力梯度下实现碳氧杂质深度脱除，从根本上控制碳氧等关键杂质。同时，企业自主开发密闭精准取样系统和高灵敏分析方案，将取样过程中的环境本底干扰降至最低，确保分析数据真实反映产品质量，保障了6N指标的稳定可靠。

目前，6N等级高纯氟化氢市场价格在200万元/吨以上。滨化集团已完成50吨/年高纯氟化氢钢瓶充装线的建设与调试，并取得山东省特检院颁发的气瓶充装许可证，已开始向国内外重点客户进行产品推介。

由中国化工学会组织的“半导体先进制程用超高纯电子级氢氟酸关键技术与应用”项目成果评价会也在滨化集团举行。专家组一致认为，该项目关键技术及产品指标达到国际先进水平。

超高纯电子级氢氟酸项目是山东省重点研发计划（重大科技创新工程）项目，由滨化集团联合天津大学共同完成。项目团队成功攻克氢氟酸纯化、高效吸附及清洗充装关键装备等技术瓶颈，实现连续化、规模化、稳定化生产。产品指标优于SEMI-G5级，已顺利导入14纳米先进制程半导体终端客户，品质和稳定性获得行业头部企业认可。项目首创电子级氟化氢反应-精馏耦合提纯新工艺，开发新型填料结构与电子化学品包装桶全自动浸没式旋转气泡清洗装置，构建全过程质量闭环管控体系，形成具有自主知识产权的工业化生产工艺体系。

此次高纯氟化氢气体投产，进一步完善了我国半导体先进制程关键材料的自主供应能力；超高纯电子级氢氟酸通过国际先进水平评价，为国产化规模推广提供了工程化示范支撑，对保障我国集成电路产业链供应链安全稳定具有深远的战略意义。

（大众新闻记者 王凯 通讯员 侯方辉）