沂蒙科创启新程!铟靶光电破局国产高端ITO靶材
大众报业·齐鲁壹点 2026-08-14 11:30:47

近日,位于临沂沂蒙新质产业园的铟靶光电(山东)有限公司(以下简称“铟靶光电”)主体厂房装置启动试运行,靶材成型、烧结工序分段试验取得突破,试制出指标优良的ITO靶材半成品。经第三方检测机构检测,半成品纯度达99.99%,致密度达99.7%,已跻身行业高端水准,标志着本次阶段性工艺试验取得里程碑式进展。公司正稳步推进其余工序建设工作,随着整条产线工艺体系不断完善,铟靶光电将补齐国产高端ITO靶材短板,稳步成长为中国靶材行业中坚力量,为国内新型显示与新能源产业链高质量发展注入强劲动能。
ITO靶材是制备透明导电薄膜的关键基础材料,是半导体显示面板、半导体集成电路、太阳能电池、调光玻璃的“透光导电核心”。在真空溅射过程中,ITO靶材受离子轰击后,材料沉积于基板表面,形成透明导电薄膜。其生产对原料纯度、靶材致密度、微观组织均匀性等均有严苛要求,有着较高的技术门槛和产业附加值。
铟靶光电是鑫联科技旗下专注于高性能ITO靶材精密制造和新产品研发的全资子公司,产品涵盖平面靶材、旋转靶材。公司位于临沂市兰山区沂蒙新质产业园内,占地约25亩,拥有包括制粉、成型、脱脂及烧结、机加工、绑定、包装、分析检测各工序的全套作业流程,规划年产能200吨ITO靶材。铟靶光电按照“高起点、高标准、高科技、高效益”的总体思路搭建,采用超20年行业经验的中韩专家团队工艺技术,与先进的生产设备,致力于成为全国ITO靶材生产的标杆公司。
责任编辑:刘相华
