刘洪安：滨化锻造芯片“电子刻刀”

8月27日上午，山东省人民政府新闻办公室举行“奋进‘十五五’民企勇担当”民营企业家系列记者见面会第三场，邀请四位企业家代表，围绕“恪守传承初心　诚信守法经营”主题与记者见面交流，并回答媒体关切。

山东科技报记者：

请问刘洪安先生，滨化集团作为传统化工龙头企业，是如何长期坚持科技创新，推动企业从基础化工向高端新材料赛道跨越？

刘洪安：作为传统化工龙头，滨化集团始终恪守实业初心、坚持诚信守法经营，紧抓化工产业向高端化、绿色化、精细化转型的重大机遇，全方位推动产业结构迭代、赛道能级跃升。

我们把建设体系化科创生态摆在首要位置。去年起，我们每年拿出近3000万元设立“北鲲青年科学家奖”，面向全球挖掘激励具有颠覆性创新潜力的青年精英。我们坚持内外联动、多点支撑，滨州本部依托战略创新研究院和北鲲创新港、北海新材料中试基地平台，联动上海交大、山东大学等高校院所，打通“研发—中试—产业化”完整链条；同时，加快布局大湾区与长三角创新桥头堡，当前滨化集团深圳研究院已正式揭牌，上海研究院、苏州研究院正同步推进。

我们聚力攻坚高端新材料，助力关键材料国产替代。瞄准半导体、AI算力产业链的材料缺口，我们的6N级电子级高纯氟化氢、超高纯电子级氢氟酸已实现稳定量产，有效打破海外技术垄断。现在我们每个人的工作生活，都离不开手机，手机的核心元件是芯片。而6N高纯氟化氢，在芯片工厂里叫“电子特气”。它的工作就像是一把电子刻刀，主要用于特定干法刻蚀工艺：光刻机先在晶圆上画出电路图，然后高纯氟化氢对晶圆进行精准雕刻。现在咱们已能用来刻14纳米以下（头发丝的万分之一粗）的电路结构了。特气的纯度对芯片良率会有较大影响，目前我们的高纯氟化氢突破工艺、工程、检测、充装等多项技术难关，纯度达到了99.9999%，比肩国际一流品质水平。而电子级氢氟酸是液体形态，主要用于湿法刻蚀和清洗。这两种产品一个用于干法工艺，一个用于湿法工艺，覆盖了芯片制造的成熟制程和先进制程，是芯片制造离不开的核心材料。过去全靠进口，现在滨化已经实现稳定量产。

绿色低碳也是我们转型的重要抓手。2024年我们推出“北鲲计划”，以新能源+化工耦合为发展路径，计划在滨州北部打造国家级新能源化工产业基地。目前源网荷储一体化项目正在加快落地，将有效降低火电依赖和碳排放。我们同步完善碳管理体系，做好产品全生命周期碳足迹核算与ESG管理，把绿色、合规贯穿生产运营全过程。

下一步，滨化将坚持技术创新与绿色转型双轮驱动，不断丰富高端新材料产品矩阵，助力全省化工产业高质量发展。

记者见面会后，滨化集团股份有限公司副董事长、高级副总裁刘洪安接受媒体记者采访。

（大众新闻记者 岳霄远 摄像 李亚平 崔晗 剪辑 高广超 策划 王雅洁）