专精特新第一线 ㉓丨打破国外垄断，六年闯进21个国家和地区，芯笙微纳的国产替代之路

进车间，先套鞋套。“电路板最怕微颗粒污染，一粒灰尘落到晶圆上，整片就可能报废。”预研部总监田伟的一句话，把半导体制造的“娇气”讲得明明白白。

也正是这种对“微颗粒”的零容忍，支撑着芯笙微纳在气体流量测控领域不断逼近精度极限。其依托山东大学科研底蕴孵化，成立仅六年便攻克了长期阻碍国产半导体级气体质量流量控制器（MFC）发展的关键技术壁垒，开发出基于高速压电比例阀的半导体级MFC产品，产品已远销全球21个国家和地区。

近日，在青岛市仪器仪表行业协会的推荐下，记者与行业专家们一起走进青岛芯笙微纳电子科技有限公司，探秘这家专精特新企业的国产替代之路。

从实验室到车间

2020年4月，青岛芯笙微纳电子科技有限公司正式成立。创始人陶继方，山东大学信息学院教授、传感器中心主任，泰山学者。据介绍，芯笙微纳专注于半导体核心零部件领域，致力于解决先进制程中气体流量测控的痛点。

此次专访中，由于陶继方出差在外，记者一行并未见到他本人。聊起他，田伟说这位首席科学家不太像人们印象中那种埋头实验室的科研人员。“陶总做经营也非常在行，而且是个高能量的人，一天能处理很多事情，节奏特别快。”

芯笙依托山东大学科研底蕴孵化，从MEMS流量传感器芯片设计起步。2020年，公司推出国内第一款微型数字风速计和国产高精度气体质量流量计；2021年，高精度工业级气体质量流量控制器实现量产。从芯片到仪器仪表全链条实现国产化突破，关键性能指标已跻身国际先进水平。

公司是国内最早将MEMS流量芯片技术应用于半导体制造的企业。芯笙与山东大学共建传感器测控联合实验室等多个研发平台。“山大的气体实验室我们共同使用，这个产学研协同的优势是得天独厚的。”田伟说。

“小而精”的底气

走进芯笙的生产车间，给人的第一印象是“精”。车间全面消毒，工程师进出更换洁净服，每一道工序都有严格标准。

研发团队汇聚了来自新加坡微电子研究院、德国卡尔斯鲁厄理工学院及国内顶尖高校的专家，形成了“海外先进技术+本土产业化”的双轨人才架构。核心研发人员流动率低，保证了技术的持续迭代创新。正是这种人才与技术的积累，让芯笙在国内率先将MEMS流量芯片技术应用于半导体制造，并构建起覆盖芯片设计、核心组件研发到智能仪表系统集成的全产业链自主管理体系。截至2024年底，公司已承担2项国家重大研发计划专项和1项山东省重大创新工程项目，累计申请发明专利60余项，入选国家高新技术企业、山东省专精特新企业。

科创企业的路并不好走。“研发设备投入累计已上千万，这些东西外人看不到。”田伟坦言，“投入产出需要时间，我们希望国家政策资金、股权资金都能给予支持。”

光伏的“万单时刻”

芯笙的产品矩阵精准切入两个核心赛道。面向半导体产业的S700系列对标国际一流标准，2024年攻克了半导体级MFC的关键技术壁垒；面向光伏产业的S300系列以高性价比打开市场。

问到最难忘的时刻，田伟眼睛一亮：“2023年初，光伏产业忽然来了一个上万台的大订单。”那是公司成立以来最大的一笔单笔订单，从芯片到仪表全部自主生产。“一时间团队士气高涨，觉得这么多年的积累没有白费。”

目前，芯笙产品已在全球50多家半导体及光伏设备企业稳定出货，累计营收超过3亿元。2024年，芯笙从全国3.5万个参赛项目中脱颖而出，入围前50强，荣获“创客中国”全国总决赛三等奖。

芯笙把业务拆成两块：产品和营销。“先进制造业做产品，先进服务业做营销，两条腿走路。”田伟说。这种拆分让研发端更专注——只管把产品做好，把精度提上去，把稳定性做到位。“产品力上去了，营销端才有底气。” 

半导体行业对精度要求近乎苛刻，光伏行业对性价比和交付速度的要求同样严苛。芯笙的应对之道，是不断突破技术边界。陶总提出，研发线要有共同属性，突破极限做好产品。正是这种对极致精度的执着，让芯笙在短短数年间从追赶到并跑，在国际竞争中赢得了一席之地。

全球化布局与创新基因

芯笙的全球化布局早已启动。目前产品已销往21个国家和地区，海外年销售额超过100万元，覆盖欧美、东南亚等核心市场。

“先得到科技领域的认可，再开拓市场。”田伟说。东南亚市场也在重点关注，“劳动力和地方政策是关键，我们和厂商客户一起布局，越南、泰国等都在考虑范围内。”

未来三年，公司将实施“内外并举”的市场战略，加速全球化布局，并稳步推进上市进程。“产品在国内的生物、医药、光伏、半导体领域都已占有一定份额，计划三年内在科创板上市。”

“XINNOVIS”是“芯笙微纳”的英文品牌名，与中文名“芯笙”一体两面。中文名“芯笙”取自“民族自强心声”，体现了公司以核心科技报国、发出民族企业强音的抱负。英文名“XINNOVIS”为组合词——X代表“未知探索”与“跨界突破”；innov源自“innovate”（创新）；vis取自“vision”（愿景）。两者共同承载着“以创新探索未知，以远见引领行业”的品牌主张。

以创新探索未知，以远见引领行业。这家成立仅六年的青岛“专精特新”企业，正在半导体核心零部件国产化的道路上加速奔跑。（半岛全媒体记者 马肃霜）