黄渤海实验室想要“胶”朋友

济南、大连、苏州、武汉……近来，烟台先进材料与绿色制造山东省实验室（简称“黄渤海实验室”）ArF(i)光刻胶项目团队格外忙碌，他们穿梭于多个城市之间，目的就是想要“胶”朋友。

光刻胶，是半导体产业链中的关键材料，其与光刻机相配套，对于芯片制造有着重要影响。此前，以ArF(i)（浸没型氟化氩光刻胶）为代表的高端光刻胶市场长期被国外所垄断。近年来，随着国内半导体产业的快速发展，高端光刻胶的国产化替代也提上日程。

作为山东省首批启动建设的省实验室之一，黄渤海实验室自成立以来，就以先进材料和绿色制造为主攻方向，持续推动科研创新。2021年，该实验室组建专业团队，对ArF(i)光刻胶项目发起攻关。

“就分类来说，光刻胶属于电子化学产品范畴。我们实验室在该领域有着丰富的人才储备，近年来连续取得成果突破，这为光刻胶攻关打下了良好基础。”黄渤海实验室ArF(i)光刻胶项目负责人介绍。

经过反复试验，该项目团队在2024年底取得研发突破，并于2025年推出正式成果，顺利通过ASML 1900i 光刻机曝光验证，技术成熟度达到行业第七、第八级阶段，这意味着其已具备落地投产的条件。

“目前，国产高端光刻胶研发总体仍处在爬坡追赶期，达到行业第七、第八级阶段的技术成果并不多。虽然与国外顶尖产品之间仍有差距，但在同阶段相比，我们的技术成果具有明显性价比优势，在行业国产替代领域拥有较为广阔的市场。”黄渤海实验室ArF(i)光刻胶项目负责人说。

为尽快推动自主研发的技术成果落地，黄渤海实验室ArF(i)光刻胶项目团队随即踏上了寻找合作伙伴的道路。这一过程，也被团队成员形象地称作“‘胶’朋友”。

今年7月，黄渤海实验室带着10项突出成果来到济南，在山东科技大市场举行专场路演活动，其中就包括了ArF(i)光刻胶项目团队。

在路演现场，该项目负责人做完技术成果介绍之后，还公开向外界发出“胶”朋友的邀请。“诚邀半导体材料头部企业、晶圆制造厂商（Fab）开展联合中试放大、代工量产或定制开发合作，加速国产高端光刻胶的工程化落地与进口替代，保障国家集成电路产业链安全。”他表示。

借助山东科技大市场这一高层次服务平台，黄渤海实验室在ArF(i)光刻胶方面的创新成果被越来越多的人所知晓。路演之后，该项目团队就收到了省内外多家企业发来的合作邀约。

“光刻胶具有高度定制化属性，需要根据产线反馈动态调整配方，广交下游合作伙伴，不仅可以加快推动成果落地，也有利于进一步提升技术成熟度。因此，我们将继续‘胶’朋友，争取‘胶’到好朋友。”黄渤海实验室ArF(i)光刻胶项目负责人说。

（大众新闻记者 从春龙 通讯员 隋翔宇 黄秋平）